Description

En este trabajo de investigación se crecieron películas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetrón sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirolítico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composición y los enlaces químicos de las películas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectrónica de rayos - X (XPS) y espectroscopía de infrarrojo (IR). La morfología superficial de los recubrimientos se examinó por microscopía de fuerza atómica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las películas se determinaron a partir de análisis de nanoindentación, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con cálculos teóricos, utilizando el código de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un código de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximación de pseudopotenciales, con ellos se determinó la estructura cristalina y sus parámetros de red, la estructura de bandas, la vibración de los fonones y algunas constantes elásticas de la fase BC3N4.